电子工业用气体检测

电子工业用气体检测检测概述：电子气体是发展集成电路、光电子、微电子，特别是超大规模集成电路、液晶显示器件、半导体发光器件和半导体材料制造过程中不可缺少的基础性支撑源材料，它被称为电子工业的“血液”和“粮食”，它的纯度和洁净度直接影响到光电子、微电子元器件的质量、集成度、特定技术指标和成品率，并从根本

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电子工业用气体检测

检测概述：

电子气体是发展集成电路、光电子、微电子，特别是超大规模集成电路、液晶显示器件、半导体发光器件和半导体材料制造过程中不可缺少的基础性支撑源材料，它被称为电子工业的“血液”和“粮食”，它的纯度和洁净度直接影响到光电子、微电子元器件的质量、集成度、特定技术指标和成品率，并从根本上制约着电路和器件的精确性和准确性。

检测范围：

氧化亚氮、氨、氯化氢、三氟化硼、氧、磷化氢、硅烷、甲烷、丙烯、氢、氦、氮、氨、氩、三氯化硼、三氟甲烷、六氟化硫、六氟化钨、六氟乙烷、高纯氯、三氟化氮等

检测标准：

GB⁄T 34085-2017 电子工业用气体三氟甲烷

GB⁄T 34091-2017 电子工业用气体六氟乙烷

GB⁄T 33774-2017 电子工业用气体丙烯

GB⁄T 15909-2017 电子工业用气体硅烷

GB⁄T 32386-2015 电子工业用气体六氟化钨

GB⁄T 31986-2015 电子工业用气体八氟丙烷

GB⁄T 31987-2015 电子工业用气体锗烷

GB⁄T 14602-2014 电子工业用气体氯化氢

GB⁄T 18867-2014 电子工业用气体六氟化硫

GB⁄T 18994-2014 电子工业用气体高纯氯

GB⁄T 31058-2014 电子工业用气体四氟化硅

GB⁄T 17874-2010 电子工业用气体三氯化硼

GB⁄T 26249-2010 电子工业用气体硒化氢

GB⁄T 26250-2010 电子工业用气体砷化氢

GB⁄T 14600-2009 电子工业用气体氧化亚氮

GB⁄T 14601-2009 电子工业用气体氨

GB⁄T 14603-2009 电子工业用气体三氟化硼

GB⁄T 14604-2009 电子工业用气体氧

GB⁄T 14851-2009 电子工业用气体磷化氢

GB⁄T 16942-2009 电子工业用气体氢

GB⁄T 16943-2009 电子工业用气体氦

GB⁄T 16944-2009 电子工业用气体氮

GB⁄T 16945-2009 电子工业用气体氩

GB⁄T 21287-2007 电子工业用气体三氟化氮

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